高真空精密機組的技術特性及使用維護
摘 要：介紹了真空機組的技術設計及機組特點；闡述了真空機組的工作原理和結構特性與技術特性；對真空機組如何進行調試與維護進行了敘述；分析了真空機組容易出現的故障以及故障的排除方法。提出開展標準化工作對于保證設備處于良性運轉狀態的重要作用與積極意義。
關鍵詞：真空、原理、故障、維護
前言
真空技術在冶金工業中應用主要有兩個方面，一方面是真空冶金；一方面是金屬的真空處理。前者包括：真空蒸餾、真空還原、真空精制、真空熔煉、真空結晶、真空干燥、真空過濾和真空輸送等過程；后者包括：真空熔化和真空燒結等過程。因此從事冶金工程的科技人員必須了解真空過程的基本原理和獲得真空的各種設備的構造和性能。
一、真空機組的技術設計及特點
真空泵分為三大類，即機械真空泵、噴射泵和擴散泵。前兩者是用于獲得低真空的設備；后者是用于獲得高真空的設備，擴散泵工作時要求先用機械泵或噴射泵產生一定的預備真空。因此為獲得高真空往往需要將幾個不同類型的真空泵串聯組成高真空機組來使用。而構成如圖所示的真空系統。
由圖可見，一個高真空系統一般是由被抽容器、擴散泵、機械真空泵、管道、閥門和真空計構成。但在金屬的真空蒸餾過程中，對真空度及真空環境要求較為苛刻，按照工藝要求我們從技術上對真空設備進行了設計。其特點如下：
它是一套特殊的綜合泵組高真空抽氣設備，專供獲得潔凈真空的系統、排除空氣或其它對泵油和泵組結構材料不起腐蝕作用的氣體及蒸汽。
（1）系統能夠獲得潔凈的高真空度
①機組采用了利用國外先進技術生產的DFYK系列高真空油擴散泵。它是由擴散泵、水冷帽組成的單一整體結構，最主要特點是清潔、返油率比普通擴散泵底四個數量級。因此不加冷阱擋板閥也能保證系統的清潔和高真空度。
②機組在系統上安裝了液氮、干冰冷阱，絕對保證了系統的清潔和高真空度。
（2）機組采用電磁高真空擋板閥，實現自動控制，使操作更的心應手。
（3）高真空機組的系統均采用不銹鋼材料制成，各部的連接采用快卸連接標準，設備保養非常方便。
這些機組特性基本滿足了金屬真空蒸餾的工藝要求，保證了產品質量。
二、設備的工作原理及特性
1.工作原理
真空泵開始工作以前，整個系統（被抽容器、導管、真空泵）的壓強是相同的，全部氣體均不流動。當機械泵運轉以后，氣體開始從容器沿導管進入機械泵，當前級泵（機械泵）將擴散泵內抽止10Pa左右的預真空后，在室溫下工作液由加熱器加熱，產生的油蒸汽沿導管向上運動，經幾級噴出，將擴散在油蒸汽中的氣體帶到前級端，使其逐漸集結，達到機械泵能夠作用的范圍由前級泵（機械泵）排除到大氣中。油蒸汽噴射在泵壁后，遇到冷卻后，又回到泵底，由此反復工作達到高真空目的。
2.機組特性
（1）結構特性
高真空機組包括：DFYK擴散泵、冷阱（液氮、干冰）、高真空擋板閥、沖氣閥、預抽閥和前置閥、吸附井、機械真空泵、復合真空計等組成。這樣的組合對于提高真空環境的潔凈度是非常有保障的。
（2）技術特性
①擴散泵的主要參數如下：