目前，我國從事半導(dǎo)體設(shè)備研究和制造的單位約60家，其中主要單位20家，一批新興的由高素質(zhì)人員組建的半導(dǎo)體設(shè)備公司陸續(xù)注冊并已投入產(chǎn)品開發(fā)工作。國產(chǎn)設(shè)備的銷售方向主要是院校和研究所中的科研型集成電路生產(chǎn)線及分立器件、LED、太陽能電池、SAW、電力電子等其他應(yīng)用半導(dǎo)體設(shè)備的領(lǐng)域。國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)的總體技術(shù)水平大致如下：0.5μm生產(chǎn)線主要設(shè)備的原型樣機(jī)已提供給用戶；一批8英寸設(shè)備正在研制中，有的已通過驗(yàn)收；幾臺(tái)100nm水平的關(guān)鍵設(shè)備已取得不同程度的進(jìn)展，有的已完成β樣機(jī)的研制，并已在用戶的生產(chǎn)線上安裝，目前正處于驗(yàn)收階段；幾種12英寸關(guān)鍵設(shè)備的α樣機(jī)研制也已取得重要進(jìn)展。

國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備起步比較早，上世紀(jì)五六十年代，國家已經(jīng)開始著手研制，改革開放后，吸收了一些國際先進(jìn)技術(shù)，逐步擁有了自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，在國內(nèi)半導(dǎo)體市場上，國內(nèi)廠商還是有一定實(shí)力的，而且在中低檔市場上擁有一定的用戶群。

目前，在國內(nèi)有多家供應(yīng)商，可提供前、后道多種工藝設(shè)備，在6英寸以下分立器件、集成電路生產(chǎn)線上使用，技術(shù)水平可滿足工藝要求，如氧化/擴(kuò)散設(shè)備、清洗設(shè)備等。
有些廠家引進(jìn)了6英寸-8英寸集成電路生產(chǎn)線的二手設(shè)備，其中也出現(xiàn)了一些問題，現(xiàn)在有部分廠家生產(chǎn)線的關(guān)鍵工藝設(shè)備開始使用國產(chǎn)設(shè)備，這些設(shè)備起到了較好的填平補(bǔ)齊的作用。此外，信息產(chǎn)業(yè)部也予以大力支持，設(shè)備的實(shí)用化又有了新的發(fā)展，清洗、擴(kuò)散/氧化/CVD設(shè)備也得到了很快發(fā)展。

雖然很多高檔的半導(dǎo)體設(shè)備仍然依賴進(jìn)口，沒有進(jìn)入大生產(chǎn)線，但是目前，七星華創(chuàng)、中電科技集團(tuán)公司第45研究所等多家單位都在努力，希望在中高檔設(shè)備上有所突破。

總的來說，經(jīng)過了“十五”的磨煉，我國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)基礎(chǔ)逐步扎實(shí)，思路漸漸清晰，實(shí)力不斷增強(qiáng)，水平悄然提高，部分(產(chǎn)品)有所突破，整體尚需努力，環(huán)境空前寬松，壓力始終存在，機(jī)遇前所未有，差距依然巨大。

過去的五年，是我國半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展最為迅猛的時(shí)期，盡管與我國快速發(fā)展的半導(dǎo)體和集成電路產(chǎn)業(yè)相比，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)的發(fā)展相對緩慢，但與前幾個(gè)五年計(jì)劃時(shí)期相比卻是獲得最實(shí)質(zhì)性進(jìn)步的五年。其特點(diǎn)表現(xiàn)在：從業(yè)企業(yè)尤其是骨干企業(yè)經(jīng)過多年的累計(jì)投入，制約發(fā)展的設(shè)計(jì)及加工條件和能力都不同程度地得到改善，與國際先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備制造商在硬件條件上的差距逐步縮小；發(fā)展理念從

以前的什么設(shè)備都做、眉毛胡子一把抓卻什么都做不好到更專注于自己擅長的設(shè)備，持續(xù)不斷地研發(fā)完善提高；從單純追求設(shè)備性能指標(biāo)的實(shí)現(xiàn)、追求設(shè)備的國產(chǎn)化率、追求是否能夠獲獎(jiǎng)是否能夠填補(bǔ)空白到追求設(shè)備的實(shí)用性及可靠性以及追求是否能夠滿足市場需求、滿足客戶的實(shí)際工藝需要而獲得真正應(yīng)用。

我國半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)的高速成長，國家對裝備行業(yè)的空前重視，與國外日趨方便的交流方式和日益多樣的合作渠道，為我國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的發(fā)展提供了前所未有的機(jī)遇。但國際著名廠商的本土化進(jìn)入和目前國內(nèi)廠家寥寥數(shù)個(gè)百分點(diǎn)的市場占有率、每年不足5億元人民幣的市場規(guī)模，則預(yù)示著新一輪殘酷競爭的開始和并未減輕的生存壓力，機(jī)遇與挑戰(zhàn)并存！

國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備目前已具備了6英寸芯片及以下生產(chǎn)線的整機(jī)生產(chǎn)能力，大多還是應(yīng)于國內(nèi)實(shí)驗(yàn)線，部分產(chǎn)品具備8英寸研發(fā)水平。與國際先進(jìn)水平相比，整體技術(shù)水平的差距依然是巨大的。如還沒有一種設(shè)備能真正進(jìn)入國內(nèi)主流的8英寸乃至6英寸芯片生產(chǎn)線，設(shè)備廠家由于沒有自己的工藝實(shí)驗(yàn)線而必須被動(dòng)地依賴用戶的“短板”問題仍然沒能得到有效改善等，這些都需要在未來的發(fā)展中加以解決。

應(yīng)該看到，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備正在逐漸成熟。然而，相對于集成電路制造業(yè)，我國半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)的發(fā)展還緩慢得多，其生產(chǎn)規(guī)模、研發(fā)水平、投資強(qiáng)度等方面要差得多。新建的集成電路生產(chǎn)線以8英寸為主，其生產(chǎn)設(shè)備仍然是國外設(shè)備居多。此外，大量價(jià)格低廉的國外二手設(shè)備涌入我國，也給國產(chǎn)設(shè)備造成了極大的市場壓力，它們搶奪了大部分的市場份額，同時(shí)也極大地縮小了國產(chǎn)設(shè)備的利潤空間。

從產(chǎn)業(yè)政策方面講，國家對設(shè)備制造業(yè)的支持力度也不夠大，研發(fā)投入少得可憐。而且，國內(nèi)設(shè)備制造業(yè)與工藝生產(chǎn)相脫節(jié)，缺乏工藝方面的支撐，其研發(fā)周期相對較長。更為重要的是，長期以來，我國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)落后的事實(shí)，使得國內(nèi)的絕大部分客戶對國產(chǎn)設(shè)備心存疑慮，信心不足，這使得國產(chǎn)設(shè)備進(jìn)入生產(chǎn)線一試身手的機(jī)會(huì)很小，因此難以獲得改進(jìn)提高的機(jī)會(huì)，國產(chǎn)設(shè)備的工藝適應(yīng)性不高，如此陷
入惡性循環(huán)，使國產(chǎn)設(shè)備進(jìn)退兩難。

國內(nèi)的半導(dǎo)體行業(yè)正處于萌芽階段，但也發(fā)展得相當(dāng)快。目前的發(fā)展主要著重于零件、組件和國內(nèi)客戶生產(chǎn)所需的系統(tǒng)制造這兩個(gè)方面。

目前，我國半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)有一種向上突破的勢態(tài)，如上海、沈陽等地都宣稱要成為半導(dǎo)體設(shè)備的基地，并有相應(yīng)大的動(dòng)作，如上海中微正在搞世界一流的半導(dǎo)體工藝設(shè)備CVD及腐蝕，并已生產(chǎn)出樣機(jī)提供給客戶使用；沈陽正在與應(yīng)用材料公司合作加工生產(chǎn)大型部件，并一次獲得質(zhì)量通過。
國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備目前的優(yōu)勢是什么？突破點(diǎn)在哪里？

從技術(shù)角度看，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備尚無優(yōu)勢可言，目前仍處于追趕階段。從長遠(yuǎn)觀點(diǎn)來看，發(fā)展國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的優(yōu)勢一是在于國家非常重視包括半導(dǎo)體設(shè)備在內(nèi)的裝備制造業(yè)，“十一五”期間將成為我國制造業(yè)的發(fā)展重點(diǎn)，這為我國半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展?fàn)I造了很好的宏觀氛圍，必將有利于我國半導(dǎo)體設(shè)備的快速發(fā)展。二是在于國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備最接近目前成長力最強(qiáng)的中國市場，接近市場既有利于設(shè)備的開 發(fā)和與工藝單位的密切配合，也有利于售后的維修服務(wù)和長遠(yuǎn)的零部件供應(yīng)。三是國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備具有較大的價(jià)格優(yōu)勢，一般價(jià)格在進(jìn)口設(shè)備的1/2或以下。

因此，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備只要在技術(shù)上和服務(wù)上能夠滿足用戶需要，我認(rèn)為是會(huì)被國內(nèi)集成電路生產(chǎn)廠家所接受的，問題在于我們能否下決心去做和怎樣去做。因此，我們鼓勵(lì)國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備單位抓住這一難得的市場機(jī)遇加快發(fā)展我國的半導(dǎo)體設(shè)備，同時(shí)我們也非常歡迎國外的半導(dǎo)體設(shè)備廠商到中國來發(fā)展。

國產(chǎn)半導(dǎo)體的優(yōu)勢在于：
1.價(jià)格相對便宜，在性能相同的情況下，采購商會(huì)考慮價(jià)格因素。
2.零配件提供方便，國內(nèi)設(shè)備在長期使用過程中備品備件有保證。
3.服務(wù)便利，在國內(nèi)購買設(shè)備后，出現(xiàn)故障后維修服務(wù)及時(shí)，能夠很快速地解決問題，國內(nèi)廠商也越來越注重加強(qiáng)自身服務(wù)意識(shí)。
4.在中、低檔市場上有穩(wěn)定的客戶群，經(jīng)過了四五十年的發(fā)展，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備在中低檔市場上已經(jīng)擁有了一些穩(wěn)定的客戶。

國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備要有所突破，首先要根據(jù)客戶需要研發(fā)新產(chǎn)品，在固有技術(shù)上不斷提高，要進(jìn)一步進(jìn)行自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的開發(fā)，隨著客戶需求的不斷提高，在適應(yīng)過程中不斷完善，并且真正形成具有我國特點(diǎn)的自主品牌。其次還要尋找常規(guī)生產(chǎn)用工藝設(shè)備，充分利用合資、技術(shù)合作、技術(shù)轉(zhuǎn)讓等手段，加大研制力度，爭取短期內(nèi)進(jìn)入中高端集成電路生產(chǎn)線。

價(jià)格是國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備與國外產(chǎn)品競爭的唯一優(yōu)勢。高端設(shè)備由于缺乏競爭力而沒有可比性，在具備生產(chǎn)能力的中低端產(chǎn)品上，價(jià)格往往成為國產(chǎn)設(shè)備競爭的殺手锏。嚴(yán)格來講，應(yīng)該是性能價(jià)格比。在基本同等的技術(shù)水平下，國產(chǎn)設(shè)備價(jià)格一般只有進(jìn)口設(shè)備的1/10-1/3，這對要求投資回報(bào)率高資金回收快的用戶無疑具有巨大的誘惑力。只要有成功應(yīng)用的先例，就能吸引成批的買主。當(dāng)然，使用成本低、備品備件便宜、維護(hù)保養(yǎng)方便快捷、中文操作界面等也是國產(chǎn)設(shè)備不可忽略的優(yōu)勢，尤其在價(jià)格同樣也是客戶對外競爭主要手段的行業(yè)，低價(jià)格意味著低的產(chǎn)品分?jǐn)偝杀荆馕吨偁幜Φ奶岣撸覈柲茈姵刂圃煨袠I(yè)大量采用國產(chǎn)設(shè)備就是一個(gè)最好的例子。另外，相對而言，國內(nèi)廠家對國內(nèi)市場和客戶的了解程度更深，與用戶的溝通更通暢，更易達(dá)成一致。

國產(chǎn)設(shè)備的優(yōu)勢在于：產(chǎn)品優(yōu)勢，國產(chǎn)設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)對國內(nèi)下游企業(yè)的實(shí)際情況更為了解，可為其提供更為適宜的量身定做的設(shè)備，如適宜操作的人機(jī)界面、簡捷高效的功能等，可使顧客充分利用資源；價(jià)格優(yōu)勢，國內(nèi)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、供應(yīng)、運(yùn)輸、服務(wù)等環(huán)節(jié)成本較低，與國外企業(yè)相比有絕對的價(jià)格優(yōu)勢；地域優(yōu)勢，本土企業(yè)可以提供更快捷的服務(wù)，更直接的面對面交流和人員溝通，低價(jià)格的上門服務(wù)和操作培訓(xùn)，價(jià)優(yōu)、量足、易得的備品備件，可以為顧客節(jié)約大量的運(yùn)行成本，方便的物流系統(tǒng)可以提供點(diǎn)對點(diǎn)的貨物運(yùn)送，省去諸如報(bào)關(guān)、港口提貨等繁雜的進(jìn)口手續(xù)；人員優(yōu)勢，專用設(shè)備一般都采用面對面的人員推銷方式進(jìn)行銷售，國內(nèi)銷售人員對行業(yè)發(fā)展情況比較了解，可以為顧客提供投資建議、采購咨詢、產(chǎn)業(yè)鏈溝通等幫助，更有利于新用戶的開發(fā)；民族情感，一種強(qiáng)烈的民族氣節(jié)，振興國家基礎(chǔ)工業(yè)的民族感情驅(qū)使人們支持國產(chǎn)設(shè)備。

國產(chǎn)設(shè)備的突破點(diǎn)：國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備應(yīng)該充分利用本土企業(yè)的地域優(yōu)勢和價(jià)格優(yōu)勢，加緊縮小與國外設(shè)備的技術(shù)差距，加強(qiáng)服務(wù)意識(shí)，樹立顧客為本，以顧客需求為導(dǎo)向的經(jīng)營理念，為國內(nèi)顧客提供量身定做的產(chǎn)品，以產(chǎn)品差異化切入市場，建立起快速反應(yīng)的服務(wù)機(jī)制，給國內(nèi)用戶以足夠的信心。

我們非常高興看到國內(nèi)這樣的成長速度，因?yàn)檫@對整個(gè)市場來說會(huì)起著一種刺激性和支持性的作用。一旦有了競爭，全球的制造者更會(huì)努力進(jìn)行研發(fā)以求進(jìn)步。目前的國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備商把重心放在0.2微米以上的技術(shù)，所以應(yīng)該把握國家的各方面支持、對本地市場的認(rèn)識(shí)以及擁有眾多工程精英等優(yōu)勢來開拓國內(nèi)的無限商機(jī)。在我們看來，這就是國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的最大優(yōu)勢。

國內(nèi)設(shè)備商和外國商家合作的機(jī)會(huì)也會(huì)隨著國內(nèi)市場的蓬勃而日漸增長。這些合作方式將有利于國內(nèi)廠商在制造過程增添更豐富的知識(shí)和經(jīng)驗(yàn)，并幫助中國半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)開拓國外市場。

國產(chǎn)設(shè)備如何立足半導(dǎo)體市場（二）