市場調研公司ICInsights日前發布的報告顯示，盡管中國半導體生產規模還相對較小，但中國的半導體消費市場2005年卻增長了32%，達到408億元，首次成為全球最大的地區性半導體市場。市場分析公司IDC也表示，未來5年中國的半導體產業將以兩倍于整個半導體產業的增長速度增長。中國市場再一次吸引全球目光，在今年的SEMIC ONChina期間，濃郁的全球化色彩也印證了這一點。

　　中國市場成為競技舞臺

　　在中國市場，中芯國際、上海華虹等對市場的貢獻毋庸置疑，已經是連續3年參加SEMICONChina的 Aviza公司在今年的SEMICONChina期間宣布，已經收到中芯國際訂購RVP300和RVP550熱處理系統的多系統訂單，這些設備將運往中芯國際在北京的新工廠。Aviza公司總裁兼首席執行官JerryCutini表示，Aviza的目標就是要在中國樹立起公司的品牌形象，把公司更多的產品引入中國。去年8月Aviza宣布合并擁有3 5年歷史的英國老牌上市設備公司Trikon。同年12月Aviza與Trikon共同宣布了合并的完成。到目前為止，Aviza的產品包括了熱處理、ALD、CVD、PVD和刻蝕等，服務的領域也大大擴展。另據了解，Aviza與七星華創的合作也在進一步的發展中。

　　隨著已注入光刻膠的應用不斷上升，而與此同時可允許的材料損失和表面損壞水平程度不斷下降，IC制造過程中的光刻膠去除已經成為整個產業界的挑戰。微電子制造領域表面處理設備技術和服務全球性供應商FSI公司應時而動，發布了適用于FSI全新的ZETAG3噴霧清洗平臺的ViPR技術。這項創新技術省去了絕大多數已注入光刻膠去除所需的灰化工藝步驟，通過省去了大約80%的前段(FEOL)灰化步驟，FSI為IC制造商提供了一套減少表面損害、材料損失、制造周期時間和資金投入的全面解決方案。FSI市場營銷副總裁ScottBecker表示，ViPR技術能為IC 制造商提供通過減少材料損失和表面損壞、縮短加工周期和降低成本而增強其競爭優勢的工藝方案。ViPR技術在65nm 和45nm制造工藝中會成為必需的技術，而且在目前的90nm制造工藝中會有所采納應用。

　　如今，高精密化、模塊化和靈活性成為微組裝設備面臨的挑戰。在這方面，高精度返修和微組裝設備制造商FI NETECH，推出具有手動、半自動和全自動的FINEPLACER系統，通過模塊化的設計使系統具備最大限度的工藝靈活性，并采用一種創新的專利的分光鏡技術，從而確保設備的高精確性和可靠性。針對迅速增長的設備市場，FINETE CH股份有限公司首席執行官GunterKuerbis介紹，FINETECH十分看好中國市場，今年將在上海成立F INETECH支持和服務中心，為中國客戶提供技術培訓和服務。

　　本地化服務能力進一步加強

　　雖然我國代工制造業近年來發展迅猛，但不可否認，200毫米、0.18微米-0.35微米技術還是主流，成本始終是本土廠商關注的焦點。KLA-Tencor中國區總裁蘇華認為，光有產品是不夠的，只有良好的服務與支持才能更好地推動業務的發展。KLA-Tencor是半導體行業工藝流程控制和良率管理解決方案的主要供應商，今年KLA -Tencor攜其3款Puma9000暗視野(暗場)系統、2800亮視野(亮場)系統以及eS32電子束檢測系統亮相SEMICONChina，這些產品都是針對65納米及以下工藝的，在SEMICONChina展會上推這些用于先進工藝的設備，蘇華認為，在中國雖然90納米并沒有進入真正意義上的量產，但這對于中國晶圓代工廠盡早地接觸和學習來講還是具有戰略意義。目前，中國市場占KLA-Tencor業務的不到10%，有著廣闊的發展空間，對于未來兩年K LA-Tencor在中國的發展，蘇華認為，一方面要組織一支技術過硬，服務到位的團隊，另一方面，則是要通過增加客戶滿意度來提升在中國的市場份額。

　　隨著半導體向65納米和45納米工藝發展，前段和后段晶片清洗技術都面臨著新的挑戰。SEZ亞太區技術行銷副總裁陳溪新在接受記者采訪時認為，半導體結構材料變得越來越脆弱，而清洗效果和材料損失的要求卻變得越來越嚴格。特別是對于關鍵層而言，更需要革新技術加以應對，而這正是SEZ的優勢所在。陳溪新介紹說，目前SEZ已經占單晶圓濕式處理市場65%的份額。而在中國市場，SEZ自2000年正式進入以來，則在硬件、工藝、軟件等方面重點進行了本土技術人員的培訓。國內的半導體設備廠商在良好的產業環境下，近年來取得了很大進步，陳溪新表示，SEZ愿與中國本土廠商開展各種形式的合作，但SEZ更看好中國合作伙伴的技術能力。

　　二手翻新設備繼續成為關注焦點

　　有關數據表明，半導體二手翻新設備將在今年上半年開始逐漸稀缺，今年下半年到2008年之間則極度稀缺，價格上漲。SEMI中國市場分析師倪兆明認為，0.25微米-0.35微米之間的二手設備將成為中國市場的熱點。諾發公司也認為，中國有望成為全球最大的翻新設備市場。

　　在SEMICONChina期間，諾發公司正式宣布任命原擔任諾發中國業務總監的土生土長的北京人汪挺出任諾發中國區總裁，這也表明諾發對中國市場的看重和信心。隨著中國對全球半導體產業影響力的逐步增強，市場機會也越來越多，汪挺表示："諾發將進一步增強在提供端到端的現場服務、維護以及銷售等方面的能力，以便更好地服務于我們在中國的客戶。"在談到諾發業務部署時，汪挺強調，目前諾發將針對"成本型"的低端設備、"價值型"的成熟翻新設備以及"技術型"的最新高端設備3個方面的定位，而其中最主要的部分就是公司的"價值型"產品業務。在這一業務領域，諾發向市場提供的是適用于0.15微米-0.5微米工藝的翻新設備。諾發公司負責全球翻新設備業務的相關人士表示，為了進一步推廣相應的業務，諾發正在提供以舊換新業務模式，這種模式可以讓用戶將使用過的設備與諾發的翻新設備進行交換。

　　對于二手設備的成本考慮，是否一定比購買新設備劃算，專家提醒，要綜合考慮設備維護費用，要慎重選擇合作伙伴，建立長期合作伙伴很重要。

　　 觀點：

　　 零部件本地化建設　是完善產業鏈的關鍵

　　在今年的SEMICONChina展會上，我們發現了"子系統和零部件"展區，這一新內容可以說是今年S EMICONChina的一大看點，據介紹，"子系統和零部件"專區也將在未來的SEMICONChina中有更大的發展。出于降低設備成本等諸多方面的考慮，在中國發展設備零部件配套產業將有助于國際設備廠商整體競爭力的提升和中國半導體制造產業鏈的完善。在展會期間舉辦的半導體設備本土化與本土化采購高層研討會上，與會專家對設備的本地化以及零部件在中國的發展給出了許多建設性的建議，專家認為，在我們國家倡導自主創新的今天，零部件的發展對未來中國半導體裝備產業的發展將有極大的推動作用。

　　加強零部件本地化建設是完善我國半導體制造產業鏈的關鍵。半導體設備產業的發展是產業鏈中的一個重要環節，如果產業鏈不完善，基礎環節不健全，這對產業發展和促進將是很有限的。韓國和我國臺灣省目前正在從產業基礎角度出發，著重發展材料和備件，產業完善了，投資與回報就會更大。專家認為，把國外設備商的供應商帶到中國來是很好的辦法，有助于在短期內建立一個產業基礎。半導體設備不像汽車和零部件具有規模效應，半導體設備量小，科技含量高，需要考慮的問題很多，從產業鏈的角度看待這一問題很重要。

　　在中國的特殊環境下，發展半導體設備業，專家認為，應該設備及零部件兩手都抓，不應該偏廢任何一方。但在前一段時期，我們總體上把注意力放在了攻克高端設備上，對零部件的技術支持力度不夠，究其原因很好理解，因為立項一臺高水平的機械泵或者半導體用不銹鋼接頭、閥門等，盡管屬于半導體設備，用途也非常廣泛，但是很難靠上高科技，因此既得不到立項支持，也談不上經費的資助，其命運可想而知，實際上，運用在半導體上的部件，都是當今工業界頂級水平，需要許多相關高科技的配合，水平并不低，卻得不到相關部門的認同，所以要實現零部件的本地化，需要全國上下統一認識，要站在高起點上發展，盡快完善我國半導體制造產業鏈。